Шкафы управления энергоблоками производства ОАО «НИТИ «Прогресс» содержат:
Промышленный компьютер с высокоскоростной платой для преобразования сигнала с датчиков вторичных электронов в видеоизображение.
Высоковольтный блок накала и смещения для формирования и управления лучом.
Блок магнитной оптики управления фокусировкой и разверткой луча.
Блок контроля и управления блокировками безопасности, управление шиберным затвором, турбомолекулярным насосом.
Имеется пять исполнений шкафов управления энергоблоками мощностью от 12 до 60 кВт:
ШУЭБ 12И
Основные параметры
Ширина | 800мм | Напряжение бомбардировки | 1000 В |
Высота | 1900мм | Ток накала | 30 А |
Глубина | 800мм | Частота импульсной модуляции | 1000 Гц |
Масса | 310 кг | Частота усилителей токов динамической фокусировки и отклонения | 30000 Гц |
Мощность | 12 кВт | Наличие системы видеонаблюдения по вторичным электронам | Имеется |
Ускоряющее напряжение | 60 кВ | Частота сканирования поверхности | 25 Гц |
Максимальный ток луча | 200 мА | Размер зоны сканирования на расстоянии 200 мм от среза пушки | 20 мм х 20 мм |
Запирающее напряжение | 4,5 кВ | Разрешение изображения по вторичным электронам | 1 024 пиксел х 1 024 пиксел |
Ток бомбардировки | 300 мА |
ШУЭБ 24И
Основные параметры
Ширина | 800мм | Напряжение бомбардировки | 1000 В |
Высота | 1900мм | Ток накала | 30 А |
Глубина | 800мм | Частота импульсной модуляции | 1000 Гц |
Масса | 370 кг | Частота усилителей токов динамической фокусировки и отклонения | 30000 Гц |
Мощность | 24 кВт | Наличие системы видеонаблюдения по вторичным электронам | Имеется |
Ускоряющее напряжение | 60 кВ | Частота сканирования поверхности | 25 Гц |
Максимальный ток луча | 400 мА | Размер зоны сканирования на расстоянии 200 мм от среза пушки | 20 мм х 20 мм |
Запирающее напряжение | 4,5 кВ | Разрешение изображения по вторичным электронам | 1 024 пиксел х 1 024 пиксел |
Ток бомбардировки | 300 мА |
ШУЭБ 36И
Основные параметры
Ширина | 800мм | Напряжение бомбардировки | 1000 В |
Высота | 2100мм | Ток накала | 30 А |
Глубина | 800мм | Частота импульсной модуляции | 1000 Гц |
Масса | 450 кг | Частота усилителей токов динамической фокусировки и отклонения | 30000 Гц |
Мощность | 36 кВт | Наличие системы видеонаблюдения по вторичным электронам | Имеется |
Ускоряющее напряжение | 60 кВ | Частота сканирования поверхности | 25 Гц |
Максимальный ток луча | 600 мА | Размер зоны сканирования на расстоянии 200 мм от среза пушки | 20 мм х 20 мм |
Запирающее напряжение | 4,5 кВ | Разрешение изображения по вторичным электронам | 1 024 пиксел х 1 024 пиксел |
Ток бомбардировки | 300 мА |
ШУЭБ 48И
Основные параметры
Ширина | 1400мм | Напряжение бомбардировки | 1000 В |
Высота | 1900мм | Ток накала | 30 А |
Глубина | 800мм | Частота импульсной модуляции | 1000 Гц |
Масса | 610 кг | Частота усилителей токов динамической фокусировки и отклонения | 30000 Гц |
Мощность | 48 кВт | Наличие системы видеонаблюдения по вторичным электронам | Имеется |
Ускоряющее напряжение | 60 кВ | Частота сканирования поверхности | 25 Гц |
Максимальный ток луча | 800 мА | Размер зоны сканирования на расстоянии 200 мм от среза пушки | 20 мм х 20 мм |
Запирающее напряжение | 4,5 кВ | Разрешение изображения по вторичным электронам | 1 024 пиксел х 1 024 пиксел |
Ток бомбардировки | 300 мА |
ШУЭБ 60И
Основные параметры
Ширина | 1400мм | Напряжение бомбардировки | 1000 В |
Высота | 1900мм | Ток накала | 30 А |
Глубина | 800мм | Частота импульсной модуляции | 1000 Гц |
Масса | 670 кг | Частота усилителей токов динамической фокусировки и отклонения | 30000 Гц |
Мощность | 60 кВт | Наличие системы видеонаблюдения по вторичным электронам | Имеется |
Ускоряющее напряжение | 60 кВ | Частота сканирования поверхности | 25 Гц |
Максимальный ток луча | 1000 мА | Размер зоны сканирования на расстоянии 200 мм от среза пушки | 20 мм х 20 мм |
Запирающее напряжение | 4,5 кВ | Разрешение изображения по вторичным электронам | 1 024 пиксел х 1 024 пиксел |
Ток бомбардировки | 300 мА |