Электронно-лучевая сварка

Автоматизированное рабочее место оператора (АРМО) установки на котором размещаются:

  • Центральный монитор управления для отображения мнемосхемы вакуумной системы, координаты и скорость механических осей АЭЛТК, сообщения о выполняемых автоматических алгоритмах и возникающих аварийных ситуациях
  • Монитор управления электронно-лучевой аппаратурой для отображения установки и измеренные значения основных параметров энергоблока
  • Монитор системы телевизионного наблюдения; отображаются зона сварки и обзорные зоны видеокамер
  • Пульт управления установкой

    • Основные параметры

    ПараметрЗначениеПримечание
    Тип источникаИнверторный
    ИсполнениеМодульное
    Максимальное количество модулей в высоковольтном источнике5
    Выходное напряжение0-70 кВ с шагом 0,1 кВнапряжение выше 60 кВ используется только для тренировки ЭЛП
    Выходной ток модуля0-200 мАдопускается кратковременное поднятие тока до 250 мА, на время не более 10 мин с последующей паузой в 2 мин, во избежание автоматического отключения источника по перегреву инвертора
    Номинальная выходная мощность модуля12 кВт
    Максимальная выходная мощность модуля15 кВт
    Потребляемая модулем мощность 3-х фазной сетине более 18 кВт
    Нестабильность ускоряющего напряжения± 0,2%
    Пульсации ускоряющего напряжения± 0,1%
    Время восстановления ускоряющего напряжения после пробояне более 20 мс
    Частота импульсной нагрузки мощностью 0-12 кВтдо 1 000 Гц
    УправлениеЦифровое
    Интерфейс управленияEthernetПоддерживаются протоколы TCP/IP и UDP
    Температура окружающей средыот -10°С до +35°С
    Влажность воздухане более 85%

    Шкафы управления энергоблоками производства ОАО «НИТИ «Прогресс» содержат:

  • Промышленный компьютер с высокоскоростной платой для преобразования сигнала с датчиков вторичных электронов в видеоизображение.
  • Высоковольтный блок накала и смещения для формирования и управления лучом.
  • Блок магнитной оптики управления фокусировкой и разверткой луча.
  • Блок контроля и управления блокировками безопасности, управление шиберным затвором, турбомолекулярным насосом.

    • Имеется пять исполнений шкафов управления энергоблоками мощностью от 12 до 60 кВт:

    ШУЭБ 12И

    Основные параметры

    Ширина800ммНапряжение бомбардировки1000 В
    Высота1900ммТок накала30 А
    Глубина800ммЧастота импульсной модуляции1000 Гц
    Масса310 кг Частота усилителей токов динамической фокусировки и отклонения30000 Гц
    Мощность12 кВтНаличие системы видеонаблюдения по вторичным электронамИмеется
    Ускоряющее напряжение60 кВЧастота сканирования поверхности25 Гц
    Максимальный ток луча200 мАРазмер зоны сканирования на расстоянии 200 мм от среза пушки20 мм х 20 мм
    Запирающее напряжение4,5 кВРазрешение изображения по вторичным электронам1 024 пиксел х 1 024 пиксел
    Ток бомбардировки300 мА

    ШУЭБ 24И

    Основные параметры

    Ширина800ммНапряжение бомбардировки1000 В
    Высота1900ммТок накала30 А
    Глубина800ммЧастота импульсной модуляции1000 Гц
    Масса370 кг Частота усилителей токов динамической фокусировки и отклонения30000 Гц
    Мощность24 кВтНаличие системы видеонаблюдения по вторичным электронамИмеется
    Ускоряющее напряжение60 кВЧастота сканирования поверхности25 Гц
    Максимальный ток луча400 мАРазмер зоны сканирования на расстоянии 200 мм от среза пушки20 мм х 20 мм
    Запирающее напряжение4,5 кВРазрешение изображения по вторичным электронам1 024 пиксел х 1 024 пиксел
    Ток бомбардировки300 мА

    ШУЭБ 36И

    Основные параметры

    Ширина800ммНапряжение бомбардировки1000 В
    Высота2100ммТок накала30 А
    Глубина800ммЧастота импульсной модуляции1000 Гц
    Масса450 кг Частота усилителей токов динамической фокусировки и отклонения30000 Гц
    Мощность36 кВтНаличие системы видеонаблюдения по вторичным электронамИмеется
    Ускоряющее напряжение60 кВЧастота сканирования поверхности25 Гц
    Максимальный ток луча600 мАРазмер зоны сканирования на расстоянии 200 мм от среза пушки20 мм х 20 мм
    Запирающее напряжение4,5 кВРазрешение изображения по вторичным электронам1 024 пиксел х 1 024 пиксел
    Ток бомбардировки300 мА

    ШУЭБ 48И

    Основные параметры

    Ширина1400ммНапряжение бомбардировки1000 В
    Высота1900ммТок накала30 А
    Глубина800ммЧастота импульсной модуляции1000 Гц
    Масса610 кг Частота усилителей токов динамической фокусировки и отклонения30000 Гц
    Мощность48 кВтНаличие системы видеонаблюдения по вторичным электронамИмеется
    Ускоряющее напряжение60 кВЧастота сканирования поверхности25 Гц
    Максимальный ток луча800 мАРазмер зоны сканирования на расстоянии 200 мм от среза пушки20 мм х 20 мм
    Запирающее напряжение4,5 кВРазрешение изображения по вторичным электронам1 024 пиксел х 1 024 пиксел
    Ток бомбардировки300 мА

    ШУЭБ 60И

    Основные параметры

    Ширина1400ммНапряжение бомбардировки1000 В
    Высота1900ммТок накала30 А
    Глубина800ммЧастота импульсной модуляции1000 Гц
    Масса670 кг Частота усилителей токов динамической фокусировки и отклонения30000 Гц
    Мощность60 кВтНаличие системы видеонаблюдения по вторичным электронамИмеется
    Ускоряющее напряжение60 кВЧастота сканирования поверхности25 Гц
    Максимальный ток луча1000 мАРазмер зоны сканирования на расстоянии 200 мм от среза пушки20 мм х 20 мм
    Запирающее напряжение4,5 кВРазрешение изображения по вторичным электронам1 024 пиксел х 1 024 пиксел
    Ток бомбардировки300 мА

    Электронно-лучевая пушка ЭП-В-У-01

    Основные параметры

    ИсполнениеВнутрикамернаяТок фокусировки1000 мА
    Диаметр* 185 ммЧастота тока фокусировки1000 Гц
    Высота470 мм Динамическая фокусировка Имеется
    Масса34,4 кг Частота динамической фокусировки10000 Гц
    Дифференциальная откачка турбомолекулярным насосом ИмеетсяЧастота отклонения25000 Гц
    Ускоряющее напряжение60 кВУгол отклонения10°
    Максимальный ток 1 000 мА Параллельный перенос луча-
    Тип высоковольтного изолятораМеталлокерамическийДиаметр параллельного переноса луча-
    Быстросъемный универсальный катодный узел ИмеетсяЭлектромагнитная юстировка электронного лучаИмеется
    Тип катодаЦельнометаллические катоды из тантала и вольфрама косвенного накала; катоды из тантала и вольфрама прямого накала; катоды из гексаборида лантанаКольцевой датчик вторичных электроновИмеется

    * без учета размера присоединительного фланца с турбомолекулярным насосом дифференциальной откачкой

    Электронно-лучевая пушка ЭП-В-У-ПП-02

    Основные параметры

    ИсполнениеВнутрикамернаяТок фокусировки1000 мА
    Диаметр* 185 ммЧастота тока фокусировки1000 Гц
    Высота531мм Динамическая фокусировка Имеется
    Масса 39,8 кг Частота динамической фокусировки 10000 Гц
    Дифференциальная откачка турбомолекулярным насосом Имеется Частота отклонения 25 000 Гц
    Ускоряющее напряжение 60 кВ Угол отклонения 10°
    Максимальный ток 1 000 мА Параллельный перенос луча Имеется
    Тип высоковольтного изолятора Металлокерамический Диаметр параллельного переноса луча 35 мм
    Быстросъемный универсальный катодный узел Имеется Электромагнитная юстировка электронного луча Имеется
    Тип катода Цельнометаллические катоды из тантала и вольфрама косвенного накала; катоды из тантала и вольфрама прямого накала; катоды из гексаборида лантана Кольцевой датчик вторичных электроновИмеется

    * без учета размера присоединительного фланца с турбомолекулярным насосом дифференциальной откачкой

    Электронно-лучевая пушка ЭП-Н-У-03

    Основные параметры

    ИсполнениеНакамернаяТок фокусировки1000 мА
    Диаметр* 200 ммЧастота тока фокусировки1000 Гц
    Высота490 ммДинамическая фокусировка Имеется
    Масса 47,5 кг Частота динамической фокусировки 10000 Гц
    Дифференциальная откачка турбомолекулярным насосомИмеетсяЧастота отклонения25 000 Гц
    Ускоряющее напряжение60 кВ Угол отклонения10°
    Максимальный ток 1 000 мА Параллельный перенос луча-
    Тип высоковольтного изолятораМеталлокерамический Диаметр параллельного переноса луча-
    Быстросъемный универсальный катодный узел Имеется Электромагнитная юстировка электронного луча Имеется
    Тип катода Цельнометаллические катоды из тантала и вольфрама косвенного накала; катоды из тантала и вольфрама прямого накала; катоды из гексаборида лантана Кольцевой датчик вторичных электроновИмеется

    * без учета размера присоединительного фланца с турбомолекулярным насосом дифференциальной откачкой

    Электронно-лучевая пушка ЭП-Н-У-ПП-04

    Основные параметры

    ИсполнениеВнутрикамернаяТок фокусировки1000 мА
    Диаметр* 200 ммЧастота тока фокусировки1000 Гц
    Высота545 ммДинамическая фокусировка Имеется
    Масса52,9 кгЧастота динамической фокусировки10000 Гц
    Дифференциальная откачка турбомолекулярным насосомИмеетсяЧастота отклонения25000 Гц
    Ускоряющее напряжение 60 кВ Угол отклонения 10°
    Максимальный ток 1000 мА Параллельный перенос луча Имеется
    Тип высоковольтного изолятора Металлокерамический Диаметр параллельного переноса луча 35 мм
    Быстросъемный универсальный катодный узел Имеется Электромагнитная юстировка электронного луча Имеется
    Тип катода Цельнометаллические катоды из тантала и вольфрама косвенного накала; катоды из тантала и вольфрама прямого накала; катоды из гексаборида лантана Кольцевой датчик вторичных электроновИмеется

    * без учета размера присоединительного фланца с турбомолекулярным насосом дифференциальной откачкой

    Комплектующие электронно-лучевой пушки

    Высоковольтный керамический изолятор

    Основные параметры

    Материал керамикиВК94
    Материал контактовКовар
    Стойкость к высокому напряжению до 120 кВ

    Может работать с катодными картриджами прямого и косвенного накала.

    Картридж косвенного накала

    Основные параметры

    КерамикаВК94
    КонтактыМедь
    Высокотемпературная частьМолибден
    Корпус и управляющий электродНержавеющая сталь
    Материал катодаГексаборид лантана или тантал
    Диаметр катодаот 1,5 мм до 6 мм
    Максимальный ток1000 мА

    Картридж прямого накала

    Основные параметры

    КерамикаВК94
    КонтактыМедь
    Высокотемпературная частьМолибден
    Корпус и управляющий электродНержавеющая сталь
    Материал катодаТантал или вольфрам
    Размеры эмитирующей части катодаот 1,5х2,0 до 2,0х2,0 мм 2
    Максимальный ток250 мА

    Катоды косвенного накала в сборе

    Основные параметры

    Материал катодаГексаборид лантана или тантал
    Материал катододержателяМолибден
    Диметры катодов1,5 мм, 4,7 мм, 6 мм

    Накаливатель картриджа косвенного накала

    Основные параметры

    Материал нитиВольфрамо-рениевая проволока диаметром 0,3 мм
    Напряжение бомбардировки1000 В
    Ток бомбардировкидо 150 мА